Media type: Book; Thesis Title: Untersuchungen zur Kinetik der Abscheidung von TiN-Schichten mit reaktiven PVD-Verfahren Contributor: Schubert, Johannes [Author] imprint: Stuttgart: Max-Planck-Inst. f. Metallforschung, 1996 Published in: Max-Planck-Institut für Metallforschung: Bericht ; 14 Extent: 104 S.; Ill., graph. Darst Language: German Keywords: Hochschulschrift ; Forschungsbericht Origination: University thesis: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1996 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1610-14 Item ID: 30557159 Status: Loanable