Media type: Book; Thesis Title: Bestimmung der Haftung von magnetron-gesputterten Titannitrid- und Aluminiumschichten mit einem bruchmechanischen Verfahren Contributor: Müller, Dietmar [Author] imprint: Stuttgart: Univ., 1996 Published in: Max-Planck-Institut für Metallforschung: Bericht ; 16 Extent: 108 S.; Ill., graph. Darst Language: German Keywords: Dünne Schicht > Magnetronsputtern > Titannitrid > Adhäsion > Bruchmechanische Prüfung Dünne Schicht > Magnetronsputtern > Aluminium > Adhäsion > Bruchmechanische Prüfung Origination: University thesis: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1995 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1610-16 Item ID: 30557157 Status: Loanable