Media type: Book; Thesis Title: Untersuchung mikromechanischer Eigenschaften von dünnen Schichten und Mikrokomponenten durch Nanoindentationsmethoden Contributor: Knauß, Michael Peter [Author] imprint: Stuttgart: Inst. für Metallkunde, 1996 Stuttgart: Max-Planck-Inst. für Metallforschung, 1996 Published in: Max-Planck-Institut für Metallforschung: Bericht ; 17 Extent: III, 167 S.; Ill., graph. Darst Language: German Keywords: Dünne Schicht > Mikrohärte > Härteprüfung > Nanometerbereich Dünne Schicht > Elektromigration Dünne Schicht > Härteprüfung Origination: University thesis: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1996 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1610-17 Item ID: 30557156 Status: Loanable