> Multivolume work
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2:
Mikroelektronik 2 Herstellungsprozesse für integrierte Schaltungen Bernhard Hoppe
Würzburg: Vogel, 1998
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1:
Mikroelektronik 1 Prinzipien, Bauelemente und Werkstoffe der Siliziumtechnologie Bernhard Hoppe
Würzburg: Vogel, 1997