Media type: Book; Thesis Title: Oberflächenstruktur dünner Sputterschichten mittels Rasterkraftmikroskopie, Röntgenreflektometrie und diffuser Röntgenstreuung Contributor: Schug, Christoph [VerfasserIn] imprint: Stuttgart: Max-Planck-Inst. für Metallforschung, 1997 Published in: Max-Planck-Institut für Metallforschung: Bericht ; 54 Extent: V, 122 Seiten; Illustrationen, Diagramme Language: German Keywords: Sputtern > Dünne Schicht > Rauigkeit > Rasterkraftmikroskopie Sputtern > Dünne Schicht > Rauigkeit > Röntgenstrahlung > Reflektometrie Sputtern > Dünne Schicht > Rauigkeit > Röntgenstreuung Origination: University thesis: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1997 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1610-54 Item ID: 30899226 Status: Loanable