Media type: Book; Thesis Title: Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen Contributor: Hoche, Jens [Author] imprint: Aachen: Shaker, 2000 Published in: Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; 5 Extent: XX, 142 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3826574133 RVK notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie Keywords: Mikromechanik > Siliciumbauelement > Trockenätzen > Fotolithografie > Prozessoptimierung Mikromechanik > Siliciumbauelement > Plasmaätzen > Fotolithografie > Prozessoptimierung Origination: University thesis: Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2000 Footnote:
Departmental Library DrePunct – stack Shelf-mark: R2019 8 1232 Item ID: 10089309 Status: Loanable, place order > Ordering possible ‒ please log in