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Gesellschaft Feinwerktechnik, Verein Deutscher Ingenieure, Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine

Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine

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  • Media type: Journal; Conference Proceedings
  • Title: Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine : Tagungsbericht
  • Corporation: Gesellschaft Feinwerktechnik ; Verein Deutscher Ingenieure
  • Event: Fachtagung Maskentechnik für Mikroelektronik-Bausteine
  • Published: Düsseldorf: VDI-Verl., 1985-1989
  • Publication information: Nachgewiesen 1984(1985) - 1989
  • Language: German
  • Keywords: Maskentechnik
  • Origination:
  • Footnote: Forts. als Monographie behandelt

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