Media type: Journal Title: Mikrosystemtechnik : von der Forschung zur Anwendung imprint: Berlin: VDE-Verl., 1993-1993 Publication information: 1993; damit Ersch. eingest. Published in: Mikro-Elektronik Language: German ISSN: 1434-4998; 0931-2714 Keywords: Mikrosystemtechnik Origination: Footnote: In SLUB collection 1993 - unter Signatur 19 4 02345; angebunden an "Mikro-Elektronik"