Media type: Book Title: Mikromechanik : Einführung in Technologie und Anwendungen Contributor: Büttgenbach, Stephanus [Author] Published: Stuttgart: Teubner, 1994 Published in: Teubner Studienbücher ; Angewandte Physik Issue: 2., durchges. Aufl. Extent: 240 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3519130718 RVK notation: ZN 4980 : Mikrocontroller, Signalprozessoren UP 7500 : Allgemeines UX 2350 : Mikroelektronik ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) Keywords: Mikromechanik Mikromechanik Origination: Footnote: Literaturverz. S. [221] - 232
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 3700 B928(2) Item ID: 10068868 Status: Loanable