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Media type: Book Title: Particle penetration and radiation effects / Peter Sigmund [1], General aspects and stopping of swift point charges / Peter Sigmund Contributor: Sigmund, Peter [Author] Published: Berlin; Heidelberg [u.a.]: Springer, 2008 Published in: Particle penetration and radiation effects / Peter Sigmund ; 1.2008 Springer series in solid-state sciences ; 151.2008 Issue: [2., corr. print.] Extent: XXIV, 437 S.; graph. Darst; 24 cm Language: English ISBN: 9783540726227; 3540726225 RVK notation: UP 9350 : Ionenimplantation allgemein, Etching, Sputtering Keywords: Geladenes Teilchen > Teilchenstrahl > Materie > Wechselwirkung Geladenes Teilchen > Streutheorie Geladenes Teilchen > Abbremsen Punktladung Origination: Footnote: Auflagenangabe von der Homepage