Media type: Volume; Loose Leaf Collection Title: Pellicles : VDI/VDE 3717 Blatt 6 imprint: Berlin: Beuth, 1999 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: VDI-VDE-Richtlinien ; 3717,6 Verein Deutscher Ingenieure: VDI-VDE-Handbuch Mikro- und Feinwerktechnik ; 3717,6 Maskentechnik ; 3717,6 Issue: März 1999 Ausg. deutsch/englisch Extent: 5 S. Language: German; English Keywords: Loseblattsammlung Origination: Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZS 2550 H236 Item ID: 11647038N Status: To be used in the library, no dispatch by interlibrary loan; delivery of photocopies possible