Media type: Book; Thesis Title: Plasmaätzverfahren für die Mikrostrukturierung von elektronischen Bauelementen aus YBa2Cu3O7 Contributor: Bade, Thomas [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1994 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 31500 Issue: Als Ms. gedr. Extent: X, 94 S; Ill., graph. Darst; 21 cm Language: German ISBN: 3183315025 Keywords: Supraleitendes elektronisches Bauelement > Plasmaätzen > Ionenstrahlätzen > Mehrschichtsystem > Photoresist Origination: University thesis: Zugl.: Hamburg, Univ., FB Physik, Diss. : 1993 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1702-315 Item ID: 30436424 Status: Loanable