Media type: Book; Thesis Title: Telezentrische Deflektometrie zur Nanotopographiemessung von Halbleiterscheiben Contributor: Tobisch, Alexander [VerfasserIn] imprint: Erlangen; Nürnberg, [2017] Extent: 232 Seiten; Illustrationen, Diagramme Language: German RVK notation: ZQ 3900 : Berührungslose Messverfahren allgemein Keywords: Hochschulschrift Origination: University thesis: Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2017 Footnote: Zusammenfassung in deutscher und englischer Sprache
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZQ 3900 T629 Item ID: 34454401 Status: Loanable