Media type: Book Title: Handbook of silicon wafer cleaning technology Contributor: Reinhardt, Karen A. [Editor]; Kern, Werner [Other] Published: Norwich, NY: William Andrew, 2008 Published in: Materials science & process technology series Issue: 2. ed. Extent: XXVI, 718 S.; Ill., graph. Darst Language: English ISBN: 9780815515548 RVK notation: ZN 4100 : Allgemeines Keywords: SOI-Technik > Wafer > Oberflächenreinigung SOI-Technik > Wafer > Oberflächenreinigung SOI-Technik > Wafer > Oberflächenreinigung Origination: Footnote: Hier auch später erschienene, unveränderte Nachdrucke
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 4100 R369(2) Item ID: 31298852 Status: Loanable