Media type: Book; Thesis Title: Reinigung und Reparatur geschädigter "ultra-low-k-Materialien" : eine ab initio Studie Contributor: Böhm, Oliver [Author] Corporation: Technische Universität Chemnitz ; GWT-TUD GmbH imprint: [Auerbach/Vogtland]: Verlag Wissenschaftliche Scripten, 2015 Published in: Forschung für die Praxis ; 2 Extent: 123 Seiten; Illustrationen, Diagramme Language: German ISBN: 9783957350213 RVK notation: ZN 4152 : Substrate, Materialien usw. VN 7137 : Dissertationen, Habilitationsschriften, wertvollere und umfangreichere Sonderdrucke Keywords: Low-k-Dielektrikum > Silylierung > Diffusion > Ab-initio-Rechnung Dichtefunktionalformalismus > Molekulardynamik > Siliciumorganische Verbindungen > Aktivierungsenergie > Thermochemie Origination: University thesis: Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2014 Footnote:
Central Library – stack Shelf-mark: 2015 8 007316 Item ID: 34097638 Status: Place order for use in library, no dispatch by interlibrary loan; delivery of photocopies possible > Ordering possible ‒ please log in