Media type: Book; Thesis Title: Entwicklung und Charakterisierung eines Plasmaätzverfahrens zur Strukturierung von Kupferleitbahnsystemen Contributor: Markert, Matthias [Author] imprint: 2001 Extent: 190 S.; Ill., graph. Darst Language: German RVK notation: ZN 4100 : Allgemeines Keywords: Wafer > Mehrschichtschaltung > Metallisieren > Leiterbahn > Kupfer > Plasmaätzen Origination: University thesis: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2001 Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 4100 M345 Item ID: 31639748 Status: Loanable