Media type: Book Title: Optical inspection of microsystems Contributor: Osten, Wolfgang [Hrsg.] imprint: Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC / Taylor & Francis, 2007 Published in: Optical science and engineering ; 109 Extent: 503 S.; zahlr. Ill. und graph. Darst Language: English ISBN: 9780849336829; 0849336821 RVK notation: ZN 4032 : Nichtelektrische Prüfverfahren Keywords: Optische Analyse > Mikrosystemtechnik > MEMS Mikrosystemtechnik > Optische Analyse Mikrosystemtechnik > MEMS > Optische Analyse > Inspektion > Qualitätskontrolle > Bildkorrelation > Elektronenholografie > Speckle-Interferometrie Origination: Footnote: Includes bibliographical references and index
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 4032 O85 Item ID: 31696513 Status: Loanable