Media type: Book; Thesis Title: Entwurfsregelanpassung der Maskengeometrie integrierter Schaltungen Contributor: Schiele, Werner [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verlag, 1984 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 ; 51 Issue: Als Ms. gedr Extent: IV, 114 S; graph. Darst Language: German ISBN: 3181451096 Keywords: Integrierte Schaltung > Maske Origination: University thesis: Zugl.: München, Techn. Univ., Diss. Footnote: Literaturverz. S. 108 - 113
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