• Media type: Book; Thesis
  • Title: Ein Beitrag zur Schaffung bedienarmer flexibler Automatisierungslösungen in der Fertigung mikroelektronischer Bauelemente : unter besonderer Berücksichtigung der Fertigung integrierter Schaltkreise auf Siliziumbasis, im VEB Kombinat Mikroelektronik
  • Contributor: Albrecht, Jochen [Author]
  • Published: 1985
  • Extent: 150, 16 Bl; graph. Darst
  • Language: German
  • Keywords: Hochschulschrift
  • Origination:
  • University thesis: Dresden, Techn. Univ., Diss. B, 1985 (Nicht für den Austausch)
  • Footnote:

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