Media type: E-Book Title: MyFEMOS - Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren Contributor: Bär, Manfred [Other] Published: Karlsruhe: Universitätsverlag, 2006 Published in: Institut für Angewandte Informatik, Automatisierungstechnik: Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik - Automatisierungstechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; 10 Extent: Online-Ressource Language: German DOI: 10.5445/KSP/1000003769 ISBN: 3937300953 Identifier: RVK notation: ZQ 3120 : Sensortechnik; Sensoren allgemein Keywords: Optischer Sensor > Mikrosensor > Mikrooptik > Optoelektronik > Modulbauweise > Fertigungstechnik Origination: Footnote: Access State: Open Access