Media type: E-Book; Thesis Title: Charakterisierung von Eigenspannungen in Multi-Layer-Systemen Other titles: Übers. des Hauptsacht.: Characterisation of residual stresses in multilayer systems Contributor: Hiltmann, Kai [Author] imprint: 1990 Online-Ausg., Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2008 Extent: IV, 179 S. Language: German Identifier: Keywords: Eigenspannung ; Mehrschichtsystem ; Charakterisierung ; Finite-Elemente-Methode ; Dünnschichttechnik ; Silicium ; Thermische Oxidation ; Hochschulschrift Type of reproduction: Online-Ausg. Place of reproduction: Stuttgart: Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart, 2008 Origination: University thesis: Stuttgart, Univ., Diplomarbeit, 1990 Footnote: Access State: Open Access