Media type: E-Book; Thesis Title: Entwicklung eines LIGA-Mikrosystems zur Messung mechanischer Eigenschaften von Mikroproben Contributor: Ruther, Patrick [Author]; Bacher, Walter [Author]; Feit, Klaus [Author] Published: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2016] Published in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5986 Extent: 1 Online-Ressource (91 Seiten); Illustrationen Language: German DOI: 10.5445/IR/37297 Identifier: Keywords: Mikromechanik > Biegeversuch > Prüfgerät > LIGA-Verfahren Origination: University thesis: Dissertation, Universität Karlsruhe, 1996 (für Patrick Ruther anerkannt) Footnote: Access State: Open Access