Media type: E-Book; Thesis Title: Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik Contributor: Müller, Claas [VerfasserIn]; Mohr, Jürgen [VerfasserIn] imprint: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2017] Published in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5609 Extent: 1 Online-Ressource (II, 84 Seiten); Illustrationen Language: German DOI: 10.5445/IR/46095 Identifier: Keywords: Spektrometer > Mikrosystemtechnik > LIGA-Verfahren Origination: University thesis: Dissertation, Universität Karlsruhe, 1994 (für Claas Müller anerkannt) Footnote: Access State: Open Access