Media type: E-Book; Thesis Title: Intelligentes Mikrosystem zur Messung von Beschleunigungen basierend auf LIGA-Mikromechanik Contributor: Strohrmann, Manfred [VerfasserIn]; Mohr, Jürgen [VerfasserIn]; Schulz, Joachim [VerfasserIn] imprint: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2017] Published in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5561 Extent: 1 Online-Ressource (118 Seiten); Illustrationen Language: German DOI: 10.5445/IR/17995 Identifier: Keywords: Hochschulschrift Origination: University thesis: Dissertation, Universität Karlsruhe, 1994 (für Manfred Strohrmann anerkannt) Footnote: Access State: Open Access