Media type: E-Book; Conference Proceedings Title: 3. Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik : 2./3. April 1998 im Forschungszentrum Karlsruhe Contributor: Statuskolloquium des Projektes Mikrosystemtechnik 3 1998 Karlsruhe imprint: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2016] Published in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 6080 Extent: 1 Online-Ressource (II, 229 Seiten); Illustrationen Language: German DOI: 10.5445/IR/270043194 Identifier: Keywords: Mikrosystemtechnik > Forschungsprojekt Origination: Footnote: Access State: Open Access