Media type: E-Book; Thesis Title: Metallstrukturierung und Dotierung mit Elementen der III.-Hauptgruppe auf Siliziumsubstraten mit Hilfe von Laser-chemischen Prozessen Contributor: Lieder, Martin [VerfasserIn] imprint: Freiburg im Breisgau, 2016 Extent: 1 Online-Ressource (VI, 168 Seiten, Illustrationen, Diagramme) Language: German DOI: 10.6094/UNIFR/12261 Identifier: Keywords: Laserchemie > Silicium > Mikromechanik > Metallbearbeitung > Solarzelle > Borverbindungen Origination: University thesis: Dissertation, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau, 2017 Footnote: Access State: Open Access