Media type: E-Book; Thesis Title: Magnetron-gesputterte superharte, amorphe Kohlenstoffschichten mit gradiertem Schichtaufbau Contributor: Stüber, Michael [VerfasserIn] imprint: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2016] Published in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5919 Extent: 1 Online-Ressource (148 Seiten); Illustrationen Language: German DOI: 10.5445/IR/37497 Identifier: Keywords: Kohlenstoffwerkstoff > Hartstoff > Amorpher Festkörper > Magnetronsputtern > Aufdampfschicht Origination: University thesis: Dissertation, Universität Karlsruhe (TH), 1997 Footnote: Access State: Open Access