Media type: E-Book; Thesis Title: Verfahren zur Herstellung von piezokeramischen Mikroformteilen Contributor: Laubersheimer, Jürgen [VerfasserIn] imprint: Karlsruhe: KIT-Bibliothek, [2016] Published in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 5853 Extent: 1 Online-Ressource ( 98, VIII Seiten); Illustrationen Language: German DOI: 10.5445/IR/200040317 Identifier: Keywords: PZT > Formteil > Mikrosystemtechnik > Sol-Gel-Verfahren > Formfüllung > Elektrophorese Origination: University thesis: Dissertation, Universität Erlangen-Nürnberg, 1996 Footnote: Access State: Open Access