Media type: E-Book; Thesis Title: Growth monitoring of ultrathin copper and copper oxide films deposited by atomic layer deposition Parallel title: Untersuchungen zum Wachstum ultradünner Kupfer- und Kupferoxid Schichten mittels Atomlagenabscheidung Contributor: Dhakal, Dileep [VerfasserIn] imprint: Chemnitz, [2016] Extent: 1 Online-Ressource Language: English; German Identifier: Keywords: Kupfer ; Kupferoxide ; Metallisierungsschicht ; Reduktion ; ULSI ; Hochschulschrift Origination: University thesis: Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2016 Footnote: Access State: Open Access