Senger, Frank
[Author];
Piechotta, Gundula
[Author]
;
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
"Entwicklung eines hochintegrierten digitalen Hochleistungsbelichters für die Belichtung von Lötstopplacken" - DAHLIA - ; Teilprojekt: MEMS-Scanner für digitale Belichter
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Media type:
E-Book
Title:
"Entwicklung eines hochintegrierten digitalen Hochleistungsbelichters für die Belichtung von Lötstopplacken" - DAHLIA - ; Teilprojekt: MEMS-Scanner für digitale Belichter
:
Abschlussbericht zum Verbundvorhaben : KMU Innovativ - Photonik im Rahmen des Programms "Photonik Forschung Deutschland" vom 06.02.2015 : 01.12.2015 - 30.11.2018
Parallel title:
MEMS-Scanner for digital light exposure within the joint project: "Development of a highly integrated digital high performance exposure for the exposure of solder-stop-resists"
Footnote:
Förderkennzeichen BMBF 13N13879. - Verbund-Nummer 01167572
weiteren Autor dem Berichtsblatt entnommen. - Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Sprache der Zusammenfassung: Deutsch, Englisch