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Döhler, T [Author]; Hofmann, M. [Author]; Andrees, J. [Author]; Kluck, A. [Author] ; Schrader, S. [Contributor] Technische Hochschule Wildau Fachbereich Ingenieur- und Naturwissenschaften

Thema: Entwicklung von nicht-planen strukturierten Masken für die Verwendung in lithographischen Prozessen und der Technologie zur Herstellung von Mikro-/Makrostrukturen auf nicht-planen, gebogenen Oberflächen

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  • Media type: E-Book
  • Title: Thema: Entwicklung von nicht-planen strukturierten Masken für die Verwendung in lithographischen Prozessen und der Technologie zur Herstellung von Mikro-/Makrostrukturen auf nicht-planen, gebogenen Oberflächen : Schlussbericht : Fördermaßnahme: SIGNO - Weiterentwicklung : Akronym: Pro-ZyLiMa : Laufzeit: 01.01.2016 - 31.03.2017
  • Contributor: Döhler, T [VerfasserIn]; Schrader, S. [MitwirkendeR]; Hofmann, M. [VerfasserIn]; Andrees, J. [VerfasserIn]; Kluck, A. [VerfasserIn]
  • Corporation: Technische Hochschule Wildau, Fachbereich Ingenieur- und Naturwissenschaften
  • imprint: Wildau: Technische Hochschule Wildau, 30.09.2017
  • Extent: 1 Online-Ressource (39 Seiten, 2,34 MB); Illustrationen, Diagramme
  • Language: German
  • DOI: 10.2314/KXP:1669421929
  • Identifier:
  • Keywords: Forschungsbericht
  • Origination:
  • Footnote: Förderkennzeichen BMBF 03SHWB078
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  • Access State: Open Access