Media type: E-Article Title: Der Lau-Effekt in der lithographischen Mikro-Nanostrukturierung Contributor: Cao, Xinrui [VerfasserIn]; Feßer, Patrick [VerfasserIn]; Fischer, David [VerfasserIn]; Hofmann, Meike [VerfasserIn]; Bourgin, Yannick [VerfasserIn]; Sinzinger, Stefan [VerfasserIn] imprint: 2018 Published in: Deutsche Gesellschaft für Angewandte Optik: DGaO-Proceedings ; 119(2018), Artikel-ID P44 Language: German ISSN: 1614-8436 Identifier: Origination: Footnote: Poster Access State: Open Access