Entwicklung von miniaturisierten Fourier-Transformations-Spektrometern und ihre Herstellung mit dem LIGA-Verfahren: = Development of miniaturised Fourier Transformation Spectrometers and their fabrication withe LIGA technology

Media type: E-Book; Thesis
Title: Entwicklung von miniaturisierten Fourier-Transformations-Spektrometern und ihre Herstellung mit dem LIGA-Verfahren
Parallel title: Development of miniaturised Fourier Transformation Spectrometers and their fabrication withe LIGA technology
Contributor: Solf, Christian [VerfasserIn]
Corporation: Institut für Mikrostrukturtechnik
imprint: Karlsruhe: Forschungszentrum Karlsruhe, Februar 2004
Published in: Forschungszentrum Karlsruhe: Wissenschaftliche Berichte des Forschungszentrums Karlsruhe ; 6964
Issue: Als Manuskript gedruckt
Extent: 1 Online-Ressource (123 Seiten, 5.11 MB); Illustrationen, Diagramme
Language: German
RVK notation: ZN 3750 : Mikrosystemtechnik
Keywords: Fourier-Spektroskopie > Infrarotspektrometer > Mikrosystemtechnik > LIGA-Verfahren
Origination:
University thesis: Dissertation, Universität Karlsruhe, 2003
Footnote: Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Literaturverzeichnis: Seite 103-108
Sprache der Zusammenfassungen: Deutsch, Englisch
Access State: Open Access

Entwicklung von miniaturisierten Fourier-Transformations-Spektrometern und ihre Herstellung mit dem LIGA-Verfahren = Development of miniaturised Fourier Transformation Spectrometers and their fabrication withe LIGA technology - [Als Manuskript gedruckt]