• Media type: E-Book
  • Title: "In-line Qualitätskontrolle von 200mm Graphen Wafern" : Schlussbericht zum Vorhaben : im Rahmen des Eurostars Projekts E! 10581 CMOS-GRAPH "Herstellung industrietauglicher Graphen-Wafern zur Verwendung in CMOS Prozessen" : Projektlaufzeit: 01.10.2016-31.03.2020
  • Contributor: Schneider, Stefan [Author]
  • Corporation: Accurion GmbH
  • Published: [Goettingen]: [Accurion GmbH], [2020?]
  • Extent: 1 Online-Ressource (31 Seiten, 8,42 MB); Illustrationen, Diagramme
  • Language: German
  • DOI: 10.2314/KXP:1759782548
  • Identifier:
  • Keywords: Forschungsbericht
  • Origination:
  • Footnote: Förderkennzeichen BMBF 01QE1645
    Verbundnummer 01174537
    Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
    Sprache der Zusammenfassung: Deutsch, Englisch
  • Access State: Open Access