Media type: Book; Thesis Title: A novel method for the bottom-up microstructuring of silicon and patterning of polymers Contributor: Schutzeichel, Christopher [VerfasserIn]; Voit, Brigitte [AkademischeR BetreuerIn]; Mannsfeld, Stefan [AkademischeR BetreuerIn] Corporation: Technische Universität Dresden imprint: Dresden, 15. Juni 2021 Extent: IV, 171 Seiten Language: English RVK notation: VK 8007 : Dissertationen, Habilitationsschriften, wertvollere und umfangreichere Sonderdrucke Keywords: Silicium > Oberflächenstruktur Origination: University thesis: Dissertation, Technische Universität Dresden, 2021 Footnote: Das Erscheinungsdatum ist der Tag der Verteidigung
Central Library – stack Shelf-mark: 2021 4 004504 Item ID: 34076833 Status: Place order for use in library, no dispatch by interlibrary loan; delivery of photocopies possible > Ordering possible ‒ please log in Orders received from Mon - Fri by 1 pm are expected to be ready for you on the same day.