• Media type: E-Book; Conference Proceedings
  • Title: Laser-Based Micro- and Nanoprocessing X : 16-18 February 2016, San Francisco, California, United States
  • Contributor: Klotzbach, Udo [HerausgeberIn]; Washio, Kunihiko [HerausgeberIn]; Arnold, Craig B. [HerausgeberIn]
  • Corporation: SPIE
  • imprint: Bellingham, Washington: SPIE, [2016]
  • Published in: SPIE: Proceedings of SPIE ; 9736
  • Extent: 1 Online-Ressource; Illustrationen
  • Language: English
  • Keywords: Konferenzschrift
  • Origination:
  • Footnote: Literaturangaben
    Teilkonferenz von: SPIE Photonics West (innerhalb der Teil-Konferenz: SPIE LASE)