Media type: E-Book; Conference Proceedings Title: Laser-Based Micro- and Nanoprocessing X : 16-18 February 2016, San Francisco, California, United States Contributor: Klotzbach, Udo [HerausgeberIn]; Washio, Kunihiko [HerausgeberIn]; Arnold, Craig B. [HerausgeberIn] Corporation: SPIE imprint: Bellingham, Washington: SPIE, [2016] Published in: SPIE: Proceedings of SPIE ; 9736 Extent: 1 Online-Ressource; Illustrationen Language: English Keywords: Konferenzschrift Origination: Footnote: Literaturangaben Teilkonferenz von: SPIE Photonics West (innerhalb der Teil-Konferenz: SPIE LASE)