Media type: E-Book; Thesis Title: Application of Silicon-on-Nothing and carbon sacrificial layer methods in suspended pressure and temperature sensing micromechanical systems Contributor: Kravchenko, Andrey [Author]; Fischer, Wolf-Joachim [Degree supervisor]; Mehner, Jan [Degree supervisor] Corporation: Technische Universität Dresden Published: Dresden, 2021 Extent: 1 Online-Ressource Language: English Identifier: RVK notation: ZN 4136 : Technologie der Mikromechanik ZQ 3900 : Berührungslose Messverfahren allgemein ZQ 3740 : Kraftmessung; Messung von Drehmoment; Messung von mechanischer Spannung, Arbeit, Leistung Keywords: Hochschulschrift Origination: University thesis: Dissertation, Technische Universität Dresden, 2021 Footnote: Information of inventory: Elektronischer Volltext - Zugang über WWW Access State: Open Access Rights information: Attribution (CC BY)