Naumann, Falk
[Author];
Knieling, Thomas
[Author]
;
Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS,
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
Teilvorhaben: μTP-Post-Processing transferierter Bauteile und allgemeine Zuverlässigkeits-/ Technologiecharakterisierung
Footnote:
Laufzeit des Vorhabens: 01.04.2017 bis 31.09.2020
Berichtszeitraum: 01.04.2017 bis 31.09.2020
Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen
Förderkennzeichen BMBF 16ESE0230
Verbundnummer 01178102
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Sprache der Zusammenfassung: Deutsch, Englisch