Media type: Book Title: Ion bombardment modification of surfaces : fundamentals and applications Contributor: Auciello, Orlando [Hrsg.] imprint: Amsterdam [u.a.]: Elsevier, 1989 Published in: Beam modification of materials ; 1 Issue: 3. impression Extent: XVII, 466 S.; Ill., graph. Darst Language: English ISBN: 0444423656 RVK notation: UP 9350 : Ionenimplantation allgemein, Etching, Sputtering Keywords: Ionenimplantation Sputtern Origination: Footnote: Literaturangaben
Central Library Shelf-mark: UP 9350 A898 Item ID: 10375251 Status: Verfügbarkeit bitte in Prof Mikrostrukturphysik erfragen.