Published:
Hannover: Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover, 2007
Hannover: Technische Informationsbibliothek (TIB), 2007
Extent:
1 Online-Ressource
Language:
German
DOI:
10.15488/13306
Identifier:
Origination:
Footnote:
In: Böhm, S.; Dilger, K.; Raatz, A.; Hemken, G.; Rathmann, S.: Fügen Klebstoff-vorbeschichteter Bauteile zur Fertigung von MEMS und MOEMS. In: Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik : GMM-Workshop vom 7. bis 8. Mai in Karlsruhe. Berlin [u.a.] : VDE-Verlag, 2007 (GMM-Fachbericht ; 53), S. 155-162