Wienecke, Marion
[Author];
Lengert, Maren
[Author]
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Materion GmbH
Zwanzig20-HYPOS-Verbundvorhaben: Neuartiger Wasserstoffsensor mit höchster Sensitivität und Selektivität auf der Basis von Mikro-elektromechanischer Sensorstrukturen; Akronym: H2MEMS; Teilvorhaben TP3: Herstellung und Charakterisierung Pd-basierter Funktionsschichten mit sicherem und selektivem physikalischen Schalten
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Media type:
E-Book
Title:
Zwanzig20-HYPOS-Verbundvorhaben: Neuartiger Wasserstoffsensor mit höchster Sensitivität und Selektivität auf der Basis von Mikro-elektromechanischer Sensorstrukturen; Akronym: H2MEMS; Teilvorhaben TP3: Herstellung und Charakterisierung Pd-basierter Funktionsschichten mit sicherem und selektivem physikalischen Schalten
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Sachbericht zum Verwendungsnachweis : Laufzeit des Vorhabens: 01.01.2021-31.12.2021
Footnote:
Förderkennzeichen BMBF 03ZZ0757C
Verbundnummer 01221817
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