Media type: E-Book Title: Photonische In-Plane MEMS-Plattform für Mikrospektrometer (PhIPMEMs) : Abschlussbericht : Laufzeit des Vorhabens: 01.01.2019-30.09.2021 (inkl. Verlängerung) : Berichtszeitraum: 01.01.2019-30.09.2021 Other titles: Abweichender Titel: Fraunhofer ENAS, Abschlussbericht 13N14928/01.01.2019 bis 30.09.2021 Contributor: Wecker, Julia [VerfasserIn]; Großmann, Toni [VerfasserIn]; Martin, Jörg [VerfasserIn] Corporation: Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme imprint: Chemnitz: Fraunhofer ENAS, 14.04.2022 Extent: 1 Online-Ressource (24 Seiten, 5,19 MB); Illustrationen, Diagramme Language: German DOI: 10.2314/KXP:1844446921 Identifier: Keywords: Forschungsbericht Origination: Footnote: Förderkennzeichen BMBF 13N14928 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Access State: Open Access Rights information: Attribution - No Derivs (CC BY-ND)