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Malguth, E. [Author]; Kaspari, C. [Author]; Haberland, Kolja [Author] ; Blank, Volker [Contributor] LayTec AG

In-situ-Kontrolle von Epitaxie und Plasmaprozessen für die Herstellung von UV-LEDs; Verbundvorhaben: "UV Power"; Teilprojekt 4

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  • Media type: E-Book
  • Title: In-situ-Kontrolle von Epitaxie und Plasmaprozessen für die Herstellung von UV-LEDs; Verbundvorhaben: "UV Power"; Teilprojekt 4 : Projekt-Abschlussbericht Zwanzig20 - Advanced UV for Life : Projektlaufzeit: 01.02.2017-30.09.2021
  • Contributor: Malguth, E. [VerfasserIn]; Kaspari, C. [VerfasserIn]; Haberland, Kolja [VerfasserIn]; Blank, Volker [MitwirkendeR]
  • Corporation: LayTec AG
  • imprint: [Berlin]: LayTec, [2021?]
  • Extent: 1 Online-Ressource (38 Seiten, 3,88 MB); Illustrationen, Diagramme
  • Language: German
  • DOI: 10.2314/KXP:184787262X
  • Identifier:
  • Keywords: Forschungsbericht
  • Origination:
  • Footnote: Förderkennzeichen BMBF 03ZZ0134D
    Verbundnummer 01175455
  • Access State: Open Access