Media type: E-Book Title: Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen : Schlussbericht nach NKBF98 : Akronym: Epi-Inspec : Projektlaufzeit: 01.12.2019-31.12.2021 Contributor: Habermann, Dirk [Contributor] Corporation: NexWafe GmbH Published: Freiburg: NexWafe, [2022?] Extent: 1 Online-Ressource (24 Seiten, 1,22 MB); Illustrationen, Diagramme Language: German DOI: 10.2314/KXP:1856093824 Identifier: Keywords: Solarzelle > Wafer > Silicium > Produktionsprozess > Messtechnik > Inspektion > Bildverarbeitung Origination: Footnote: Förderkennzeichen BMWi 03EE1043A Verbundnummer 01192625 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Access State: Open Access Rights information: Attribution - No Derivs (CC BY-ND)