Media type: E-Book; Thesis Title: Ternäre Oxide zur Passivierung von GaN-basierten elektronischen Bauelementen Contributor: Seidel, Sarah [VerfasserIn]; Heitmann, Johannes [AkademischeR BetreuerIn]; Vescan, Andrei [AkademischeR BetreuerIn] Corporation: Technische Universität Bergakademie Freiberg imprint: Freiberg, 2023 Extent: 1 Online-Ressource (142 Seiten); Illustrationen, Diagramme Language: German Identifier: Keywords: Galliumnitrid > Elektronisches Bauelement Oxide > Ternäre Verbindungen > Gadolinium > Scandium > Aluminium > Titan Ätzen > Kristallisation Photoelektronenspektroskopie Origination: University thesis: Dissertation, Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2022 Footnote: Literaturverzeichnis: Seite 121-137 Volltext: PDF Tag der Verleihung: 11. November 2022 Access State: Open Access