Media type: E-Book Title: Technology advances for pilot line of enhanced semiconductors for 3nm (TAPES3) : TAPES3 Schlussbericht Fraunhofer : Teilvorhaben: T2.2.3: Simulation hyper-NA anamorpher EUV Systeme; T4.3.3: Untersuchung der Abbildungseigenschaften: Simulation und Experiment; T4.5.1: Verbesserte Defektreparatur : Berichtszeitraum: 1/10/2018-31/1/2022 Corporation: Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie imprint: [Erlangen]: [Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)], [2022?] Extent: 1 Online-Ressource (32 Seiten, 4,25 MB); Diagramme Language: German DOI: 10.2314/KXP:1859795862 Identifier: Keywords: Forschungsbericht Origination: Footnote: Förderkennzeichen BMBF 16ESE0288 Verbundnummer 01182862 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden Access State: Open Access Rights information: Attribution - No Derivs (CC BY-ND)