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Speiser, E. [Author]; Binetti, M. [Author]; Haberland, Kolja [Author] ; Haberland, Kolja [Editor] LayTec AG

Graphenprozessierung auf 200mm Wafern für mikroelektronische Anwendungen (GIMMIK) - [Version 1.0]

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  • Media type: E-Book
  • Title: Graphenprozessierung auf 200mm Wafern für mikroelektronische Anwendungen (GIMMIK) : Titel des Teilprojekts: In-situ und ex-situ Messtechnik für die Überwachung der Graphenherstellung : Abschlussbericht zu einem geförderten R&D-Projekt : Laufzeit des Vorhabens: 01.01.2019-30.06.2022 : Berichtszeitraum: Gesamtzeitraum (Abschlussbericht)
  • Other titles: Titel des Verbundprojekts: Graphenprozessierung auf 200mm Wafern für mikroelektronische Anwendungen (GIMMIK)
    Abweichender Titel: R&D-Projekt Schlussbericht
  • Contributor: Speiser, E. [VerfasserIn]; Binetti, M. [VerfasserIn]; Haberland, Kolja [HerausgeberIn]
  • Corporation: LayTec AG
  • imprint: Berlin: LayTec AG, 22.12.2022
  • Issue: Version 1.0
  • Extent: 1 Online-Ressource (31 Seiten, 3,16 MB); Illustrationen, Diagramme
  • Language: German
  • DOI: 10.2314/KXP:188023680X
  • Identifier:
  • Keywords: Forschungsbericht
  • Origination:
  • Footnote: Förderkennzeichen BMBF 03XP0210B
    Verbundnummer 01185293
    Literaturverzeichnis: Seite 31
  • Access State: Open Access
  • Rights information: Attribution - No Derivs (CC BY-ND)