Media type: E-Article Title: Modeling, properties, and fabrication of a micromachined thermoelectric generator Contributor: Uebensee, Hartmut [VerfasserIn]; Reiche, Manfred [VerfasserIn]; Kosina, Hans [VerfasserIn]; Xu, Xuemei [VerfasserIn]; Leipner, Hartmut S. [VerfasserIn]; Brokmann, Geert [VerfasserIn]; Schwartz, Bernhard Ewald [VerfasserIn]; Reinhardt, Anna [VerfasserIn]; Ortlepp, Thomas [VerfasserIn] imprint: 2024 Published in: AIP Advances ; 14(2024), Artikel-ID 015165, Seite 015165-1-015165-8 Language: English DOI: 10.1063/5.0179769; 10.25673/115382 ISSN: 2158-3226 Identifier: Origination: Footnote: Access State: Open Access Rights information: Attribution (CC BY)