• Media type: E-Book
  • Title: Verbundprojekt: Metrologie für die Halbleiter-Herstellung mit Industrie 4.0 - MADEin4; Teilvorhaben: Befähigung von SAM für die nächste Generation der Halbleiter- und Automobilelektronik (Auto³SAM) : Abschlussbericht : Laufzeit des Vorhabens: 01.08.2019-31.10.2022
  • Corporation: PVA TePla Analytical Systems GmbH
  • Published: [Westhausen]: [PVA TePla Analytical Systems GmbH], 24.08.2023
  • Extent: 1 Online-Ressource (17 Seiten, 1,01 MB); Illustrationen, Diagramme
  • Language: German
  • DOI: 10.2314/KXP:1890351407
  • Identifier:
  • Keywords: Forschungsbericht
  • Origination:
  • Footnote: Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
    Förderkennzeichen BMBF 16ESE0373
    Verbundnummer 01186946
  • Access State: Open Access
  • Rights information: Attribution - No Derivs (CC BY-ND)