Media type: Book; Thesis Title: Anlagenentwicklung unter unsicheren Annahmen am Beispiel einer lasergestützten Präzisionsbearbeitungsstation Other titles: Nebent.: Laserpräzisionsanlagen Contributor: Heekenjann, Peter B. [Author] imprint: Düsseldorf: VDI-Verl., 1996 Published in: Verein Deutscher Ingenieure: Fortschritt-Berichte VDI ; 37000 Berichte aus dem Institut für Fertigungstechnik und spanende Werkzeugmaschinen, Universität Hannover Issue: Als Ms. gedr Extent: IX, 123 S; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 3183370026 Keywords: Feinbearbeitung > Laserlithografie > Maskentechnik Origination: University thesis: Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1995 Footnote: Literaturverz. S. 111 - 123
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZM 1702-370 Item ID: 30436688 Status: Loanable